| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко, С. В. Бордусов, Д. А. Голосов [и др.]; под редакцией А. П. Достанко. — Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Весь срок охраны авторского права. — Электрон. дан. (1 файл). — Минск: Белорусская наука, 2018. — 271 с. — Весь срок охраны авторского права. — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/88693.html>.Record create date: 9/21/2022 Subject: электроника; микроэлектроника; субмикронная структура; технология UDC: 621.382 LBC: 32.85 Collections: ЭБС "IPRbooks" Allowed Actions: View |
Annotation
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Usage statistics
|
|
Access count: 8
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |