| Карточка | Таблица | RUSMARC | |
|
|
Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко, С. В. Бордусов, Д. А. Голосов [и др.]; под редакцией А. П. Достанко. — Технологии субмикронных структур микроэлектроники, Весь срок охраны авторского права. — Электрон. дан. (1 файл). — Минск: Белорусская наука, 2018. — 271 с. — Весь срок охраны авторского права. — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/88693.html>.Дата создания записи: 21.09.2022 Тематика: электроника; микроэлектроника; субмикронная структура; технология УДК: 621.382 ББК: 32.85 Коллекции: ЭБС "IPRbooks" Разрешенные действия: Посмотреть |
Аннотация
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Статистика использования
|
|
Количество обращений: 8
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |