| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Лазеры в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / С. П. Малюков, А. В. Саенко, Ю. В. Клунникова, А. В. Палий. — Лазеры в микро- и наноэлектронике, 2025-01-01. — Электрон. дан. (1 файл). — Ростов-на-Дону, Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 с. — Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.01.2025 (автопролонгация). — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/87722.html>.Record create date: 9/21/2022 Subject: лазер; микроэлектроника; наноэлектроника; лазерное излучение; твердотельный лазер; газовый лазер; полупроводниковый лазер; лазерное окисление; лазерный отжиг; лазерное легирование UDC: 621.382 LBC: 32.85 Collections: ЭБС "IPRbooks" Allowed Actions: View |
Annotation
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Usage statistics
|
|
Access count: 4
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |