| Карточка | Таблица | RUSMARC | |
|
|
Лазеры в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / С. П. Малюков, А. В. Саенко, Ю. В. Клунникова, А. В. Палий. — Лазеры в микро- и наноэлектронике, 2025-01-01. — Электрон. дан. (1 файл). — Ростов-на-Дону, Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 с. — Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.01.2025 (автопролонгация). — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/87722.html>.Дата создания записи: 21.09.2022 Тематика: лазер; микроэлектроника; наноэлектроника; лазерное излучение; твердотельный лазер; газовый лазер; полупроводниковый лазер; лазерное окисление; лазерный отжиг; лазерное легирование УДК: 621.382 ББК: 32.85 Коллекции: ЭБС "IPRbooks" Разрешенные действия: Посмотреть |
Аннотация
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Статистика использования
|
|
Количество обращений: 4
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |