| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Светличный, А. М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие / А. М. Светличный, И. Л. Житяев. — Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии, 2025-01-01. — Электрон. дан. (1 файл). — Ростов-на-Дону, Таганрог: Издательство Южного федерального университета, 2017. — 104 с. — Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.01.2025 (автопролонгация). — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/87516.html>.Record create date: 9/21/2022 Subject: фотонно-стимулированный процесс; технологический процесс; микротехнология; нанотехнология; фотонное излучение; полупроводниковая поверхность; фотонная обработка; лазерное легирование; пленка вольфрама; лазерная планаризация UDC: 621.373 LBC: 32.847 Collections: ЭБС "IPRbooks" Allowed Actions: View |
Annotation
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Usage statistics
|
|
Access count: 4
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |