Учебное пособие предназначено для студентов 4–6-го курсов, аспирантов, соискателей и других обучающихся, специализирующихся в области физической электроники, физики поверхности, физики наноструктур и их диагностики. Оно основано на лекциях, читаемых в СПбГУ по курсу «Физическая электроника». В пособии приводятся элементарные сведения из физики твердого тела и физики поверхности, необходимые для понимания процессов взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. Подробно рассматриваются механизмы термоэлектронной эмиссии, эмиссии электронов, вызываемой наличием сильных электрических полей, фотоэлектронной и вторичной электронной эмиссии, механизмы поверхностной ионизации, явления, происходящие при бомбардировке ионами.