TumSU
Electronic Library

     

Details

Иванов, И. Г. Вакуумный практикум: учебно-методическое пособие / И. Г. Иванов. — Вакуумный практикум, Весь срок охраны авторского права. — Электрон. дан. (1 файл). — Ростов-на-Дону: Издательство Южного федерального университета, 2009 — 56 с. — Весь срок охраны авторского права. — Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS. — Текст. — электронный. — <URL:http://www.iprbookshop.ru/46927.html>.

Record create date: 4/1/2021

Subject: физика; вакуум; молекулярный процесс; вакуумная технология

UDC: 533

LBC: 22.3

Collections: ЭБС "IPRbooks"

Allowed Actions: View

Annotation

В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. Рекомендуется в качестве методического руководства для студентов 2–3 курсов физических специальностей.

Usage statistics

stat Access count: 4
Last 30 days: 1
Detailed usage statistics