Детальная информация

Щагин, Анатолий Васильевич. Основы автоматизации технологических процессов: учебное пособие для спо / А. В. Щагин, В. И. Демкин, В. Ю. Кононов, А. Б. Кабанова. — Электрон. дан. — Москва: Юрайт, 2022. — 163 с. — (Профессиональное образование). — URL: https://urait.ru/bcode/488637 (дата обращения: 21.09.2022). — Режим доступа: Электронно-библиотечная система Юрайт, для авториз. пользователей. — <URL:https://urait.ru/bcode/488637>.

Дата создания записи: 26.11.2008

Тематика: Автоматика и управление; Прикладные науки. Техника.; Общая электротехника и электроника; Электротехника и электроника; Основы электротехники и электроники; Автоматизация технологических процессов; Электротехника и электронная техника; Основы автоматизации технологических процессов; Основы автоматизации технологических процессов производства неметаллических строительных изделий и конструкций; Электроника и электротехника; Системы автоматизированного проектирования технологических процессов; Автоматизация технологических процессов производства неметаллических строительных изделий и конструкций; Техническое обслуживание сложного электрического и электромеханического оборудования с электронным управлением; Основы электроники и электротехники

УДК: 658.012.011.56:658.512

ББК: 32.965я73

Коллекции: Электронные книги издательства Юрайт

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.

Статистика использования

stat Количество обращений: 7
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика